洁净型直交机器人 XY-XC(2～4轴)

洁净型直交机器人XY-XC是直交机器人中可以在无尘室使用的机型。
采用耐久性强的不锈钢板，能使开口部的设计非常小，以少量的吸气即可实现高洁净度。

洁净度 ：相当于等级10(ISO25644-1)
※每1cf为0.1μm，使用抽风机时。

• 洁净度：
  CLASS10
• 抽吸量：
  60～90Nℓ/min
• 最大搬运重量：
  20kg
• 最高速度：
  1000mm/sec

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用户配线: D-Sub 25PIN 连接器(1-24号已接线、25号为机架地线)

※

用户配管: 3根6空气软管